日本mirapro真空沉積/蝕刻設(shè)備冷陰極測(cè)量儀 CCTG110S 特點(diǎn)介紹

冷陰極Tough Gauge CCTG（冷陰極Tough Gauge）通過加熱陰極電極，防止以前不可能實(shí)現(xiàn)的電極污染，并實(shí)現(xiàn)超高真空區(qū)域的穩(wěn)定放電。

此外，通過使用陶瓷作為陰極材料，它具有很高的耐腐蝕性。

可以測(cè)量以前無法測(cè)量的鹵素氣體氣氛的壓力。

日本mirapro真空沉積/蝕刻設(shè)備冷陰極測(cè)量儀 CCTG110S 規(guī)格參數(shù)

壓力單位硬模式除氣接口輸入信號(hào)輸出信號(hào)壓力信號(hào)輸出輸入動(dòng)作連接凸緣訂購型式Pa，托爾mbar測(cè)量時(shí)對(duì)陰極進(jìn)行通電加熱（溫度可設(shè)定為3級(jí)）將陰極進(jìn)行閃光加熱至約700°CRS232C、USB顯示器（TGD100）、PC連接可開始/停止測(cè)量、除氣、硬模式ON/OFF設(shè)定點(diǎn)觸點(diǎn)×2ch、報(bào)警接點(diǎn)0-10V 2chAC85～240V 50/60HzNW25、ICF70NW25釹磁鐵:CCTG110S-NW25ICF70薩馬科瓦磁鐵:CCTG110S-CF70偏置電壓3kV～500V最佳控制密封部材質(zhì)巴頓密封（NW25）金屬O形圈密封（ICF70）

污染源是從測(cè)量對(duì)象物發(fā)出的物質(zhì)以及從用于控制和測(cè)量的傳感器和配線發(fā)出的氣體，并且由于這種污染而附著在真空計(jì)上，導(dǎo)致精度下降。

在塑料表面進(jìn)行氣相沉積時(shí)，由于增塑劑的蒸發(fā)等，會(huì)發(fā)生污染。真空設(shè)備內(nèi)部的配線、電機(jī)、密封材料等產(chǎn)生有機(jī)污染氣體而造成的污染。在半導(dǎo)體制造設(shè)備中，有機(jī)金屬原料氣體和抗蝕劑殘留，成為污染源。

這些污染物會(huì)導(dǎo)致嚴(yán)重的問題。

由柵極污染引起的問題包括由于發(fā)射功率增加而導(dǎo)致的靈敏度降低、發(fā)射停止和燈絲斷裂。

另外，由于收集器的污染而導(dǎo)致真空計(jì)的靈敏度降低，