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產(chǎn)品分類產(chǎn)品展示/ Product display
您的位置：首頁(yè) / 產(chǎn)品展示 / 分析儀器 / 導(dǎo)入機(jī) / ILD-70A / ILD-114A系列日本IKC驅(qū)動(dòng)裝置波紋管式直導(dǎo)入機(jī)自動(dòng)型
日本IKC驅(qū)動(dòng)裝置波紋管式直導(dǎo)入機(jī)自動(dòng)型 ILD-70A / ILD-114A系列直進(jìn)機(jī)是一種使真空中的設(shè)備、設(shè)備在保持真空狀態(tài)的情況下從大氣側(cè)直線前進(jìn)的產(chǎn)品。用于升降基板臺(tái)、輸送晶圓等。
產(chǎn)品型號(hào)：ILD-70A / ILD-114A系列廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商更新時(shí)間：2024-10-14訪 問 量：361
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日本IKC驅(qū)動(dòng)裝置波紋管式直導(dǎo)入機(jī)自動(dòng)型 ILD-70A / ILD-114A系列 特點(diǎn)介紹
直進(jìn)機(jī)是一種使真空中的設(shè)備、設(shè)備在保持真空狀態(tài)的情況下從大氣側(cè)直線前進(jìn)的產(chǎn)品。用于升降基板臺(tái)、輸送晶圓等。
入江工研的直線送料機(jī)有波紋管密封型和磁力密封型兩種類型，并配有手動(dòng)和自動(dòng)驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)，提供滿足各種需求的產(chǎn)品。
我們的焊接波紋管是內(nèi)置的，行程標(biāo)準(zhǔn)化為 10 至 200 毫米。
驅(qū)動(dòng)部分密封采用焊接波紋管，因此可用于超高真空領(lǐng)域。
它的結(jié)構(gòu)極其簡(jiǎn)單，注重功能，使其體積小、重量輕。手動(dòng)型設(shè)計(jì)可承受250℃烘烤溫度。
1、驅(qū)動(dòng)裝置密封采用入江工研生產(chǎn)的焊接波紋管，
可用于超高真空領(lǐng)域。
2. 備有行程100mm、150mm的各種尺寸（CF70、114、152、203）。
3、電機(jī)標(biāo)配可逆電機(jī)。（步進(jìn)電機(jī)等請(qǐng)另行咨詢）
4. 標(biāo)準(zhǔn)配備限位開關(guān)。電位計(jì)可作為位置檢測(cè)的選件
日本IKC驅(qū)動(dòng)裝置波紋管式直導(dǎo)入機(jī)自動(dòng)型 ILD-70A / ILD-114A系列 規(guī)格參數(shù)
ILD-70AILD-114A
型號(hào)后綴50 100 150 50 100 150
行程（毫米）50 100 150 50 100 150
連接法蘭CF70 CF114
驅(qū)動(dòng)方式電機(jī)驅(qū)動(dòng)
泄漏量1×10 -10 Pa·m 3 /s以下
烘烤溫度-
主要使用材料SUS304
波紋管材質(zhì)SUS316L
郵箱：akiyama_zhou@163.com
傳真：
地址：廣東省深圳市龍崗區(qū)龍崗街道新生社區(qū)新旺路8號(hào)和健云谷2棟10層1002
